我国为什么购买不到高端光刻机?ASML总裁:中国
时间:2020-06-29 来源:新闻网 人浏览 -
5月中旬,一个关于半导体行业的非常“重要”的消息广为流传。具体内容是中国江苏无锡高新区与世界顶级光刻机生产商ASML签订合同,在园区内共同建设一个“设备技术服务基地”。目前,我国最先进的芯片制造工艺已经超过5纳米,但能够批量生产的芯片制造工艺只有14纳米。其中一个原因是,中国最大的半导体合同制造商中芯国际从ASML订购的7纳米光刻机,花费了数亿美元,两年都没有到货,这使得中芯国际真正的7纳米加工工艺无法突破。
全球高端光刻机巨头荷兰ASML将在中国建立什么样的光刻服务基地?
首先,ASML在无锡的建立或多或少有利于我国光刻机的研发过程。但是,值得注意的是,这个光刻机基地只是一个技术服务基地,而不是光刻机的厂房。它关注的是公司向中国销售光刻机物流服务。这个服务基地所涉及的业务主要分为两部分。首先是为ASML 光刻机提供售后维护和其他技术服务。二是在供应链上为光刻机提供更高层次的零部件和原材料物流服务,即服务与物流的整合。
ASML在中国建立的服务基地着眼于未来中国潜在的光刻机需求市场。
为什么ASML在关键时刻要跋涉数千英里才能在中国建立服务基地?世界上各种光刻机市场主要由三大巨头垄断,即日本荷兰,尼康的ASML 阿斯麦和佳能。根据三大厂商2019年的市场份额,其中ASML全年生产销售光刻机229台,总价值704亿元,牢牢占据市场领先地位。作为仅次于韩国,台湾省和美国,ASML的第四大客户中国大陆,贡献了该公司10%以上的收入,其年度增长势头正在增长。可以说,中国市场的潜在规模是ASML难以忽视的。
荷兰ASML公司生产的光刻机主要分五代,加工精度依次提高。
事实上,光刻机市场在中国市场的规模不应该只有10%,这还要从ASML公司生产光刻机的种类说起。如果我们看看光源的替代和技术创新,光刻机的发展主要经历了五代。第一代和第二代光刻机都是接触接近式,并且最小处理技术是800纳米到250纳米。第三代光刻机是扫描投影型,最小加工技术为180纳米至130纳米。然而,从第四代光刻机开始,采用的是浸入式分步光刻机,其芯片加工工艺达到了22纳米,使芯片制造工艺和精度提高了不止一个台阶。
ASMl将光刻机出口到中国市场的主要是前几代的中低端光刻机
然而,荷兰ASML公司只向中国出口前几代光刻机产品,而新一代光刻机产品不在中国销售。ASML的第五代光刻机,采用13.5纳米的极紫外光,是目前世界上最先进的光刻机之一,其加工技术可以达到最低7纳米。EUV光刻机也是中芯国际公司以近10亿美元的价格购买的设备,但过了两年还是没有收到货。然而,这一次ASML破例将最先进的EU 光刻机卖给了中国。这表明ASML渴望扩大中国市场,但它未能按时交货也显示了其背后的许多障碍。
为什么ASML的高端光刻机不卖给中国?
那么为什么ASML的光刻机不卖给中国?作为半导体芯片加工行业最重要的设备,一个售价上亿的光刻机自然包含着极高的利润。ASML和中国没有在高端光刻机进行交流,这也是制约我国半导体产业发展的主要因素。ASML真的愿意放弃中国利润市场吗?事实上,双方未推出高端光刻机的主要原因是《瓦森纳协定》的限制。该协议主要涉及各国出口产品的许可。然而,它的背后总是有美国的影子。这也是ASML未能获得向中国出售EUV 光刻机的许可证的原因之一
今年年初,ASML总统公开表示,中国永远无法制造其高端光刻机
当然,这份协议只针对ASML的高端光刻机,光刻机的前几代产品出口也可以针对中国,但对中国芯片厂的加工技术不会有实质性的帮助。2020年初,在各方密切关注ASML与中芯国际EUV 光刻机,公司的交易之际,ASML总裁正式表示,—— 中国永远造不出ASML的高端光刻机。在美国对华为采取一系列限制性措施期间,ASML总裁发表这样的言论确实有意义。至于中国首个高端EUV 光刻机能否如期抵达,在期待西方履行合同的同时,我们也应该加快光刻机的本土化步伐